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Aluminiumalkyle

Trimethylaluminium (TMA)

Dank unserer jüngsten Fortschritte in der Trimethylaluminium (TMA)-Produktion sind wir in der Lage, verschiedene Reinheitsgrade anzubieten, die auf die Anforderungen von Halbleiter-, Solarzellen- und LED-Anwendungen zugeschnitten sind.

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Image of Albemarle's TMA brochures
Lösungen für TMA-HP und TMA-SP

Eine entscheidende Komponente in der Halbleiter-, Solarzellen- und LED-Fertigung

In der Halbleiterfertigung wird TMA von hoher Reinheit als Aluminiumvorläufer in ALD- und CVD-Prozessen zur Bildung von Al₂O₃ (Aluminiumoxid)-Dünnschichten verwendet, die häufig als High-k-Dielektrikum-Materialien verwendet werden. 

In der Solarzellenproduktion wird TMA in Solar-Reinheit in ALD- oder CVD-Prozessen zum Erzeugen von Al₂O₃-Passivierungsschichten verwendet, die die Effizienz von kristallinen Siliziumsolarzellen verbessern können. 

Bei der LED-Herstellung wird TMA von hoher Reinheit in MOVPE- oder CVD-Prozessen verwendet, um aluminiumhaltige Verbindungshalbleiterschichten – wie AlGaN-Epitaxieschichten (EPI-Schichten) – eben so wie Al₂O₃- oder AlN-Passivierungsschichten herzustellen, die zur Verbesserung der optischen Leistung und lichttechnischen Wirkung beitragen.

TMA-HP Broschüre TMA-SP Broschüre

World-Class Production

Albemarle is one of the world’s largest high-volume producers of Trimethylaluminum (TMA)—an essential raw material used to make metal-organic precursors for atomic layer deposition (ALD) and chemical vapor deposition (CVD) applications.

Recent advances in our TMA manufacturing process allow us to offer multiple purity grades tailored to the needs of the semiconductor, solar and LED industries. We verify product quality using advanced analytical methods, including Nuclear Magnetic Resonance (NMR), Inductively Coupled Plasma Optical Emission Spectrometry (ICP-OES) and Gas Chromatography-Mass Spectrometry (GC-MS). These techniques help ensure consistent performance and the ultra-high-purity levels required for electronics manufacturing.

A photo of the Albemarle production facility in Pasadena, TX

Ein globaler Marktführer

Albemarle betreibt die größte Anlage der Welt für Metallalkyle, eine erstklassige integrierte Anlage in den Vereinigten Staaten am Houston Ship Channel in Pasadena, Texas. Unser TMA-HP wird im Process Development Center (PDC) in Baton Rouge, Louisiana, hergestellt, während andere TMA-Sorten in Orangeburg, South Carolina, produziert werden. 

Wir produzieren in diesen Anlagen seit über 50 Jahren organische Metalle und haben uns einen guten Ruf in der Herstellung, Handhabung und dem Versand dieser äußerst flüchtigen Produkte erworben.

Die Anlagen liegen strategisch in der Nähe mehrerer etablierter Vertriebskanäle und bilden das Fundament unserer starken globalen Lieferkette.

Image of individuals in protective gear opening a chemical container

Handhabungsverfahren für erhöhte Sicherheit

Metallorganische Verbindungen sind äußerst flüchtige, pyrophore, Wasser-reaktive reagierende Substanzen, die man mit äußerster Vorsicht behandeln muss. Um sichere Handhabungsverfahren zu demonstrieren und zum Schutz unserer Mitarbeiten, Kunden und der Öffentlichkeit, hat Albemarle eine Reihe von Schulungstools entwickelt.

  • In unseren Seminaren für Produktverantwortung vor Ort werden Kunden und lokale Rettungskräfte in der richtigen Handhabung von metallorganischen Verbindungen geschult.
  • In unseren von Spezialisten geleiteten Bedienerschulungen erhalten die Kunden technische Unterstützung und Anregungen zur Vorbereitung ihrer Anlagen und Mitarbeitenden auf die Einführung unserer metallorganischen Produkte vorbereiten.
  • Unser Handbuch zur Handhabung metallorganischer Verbindungen enthält detaillierte Informationen zu den Eigenschaften und der Reaktivität metallorganischer Verbindungen, geeigneter persönlicher Schutzausrüstung (PSA), Erste Hilfe, Brandfallsteuerung, Containerdesign, Be- und Entladeverfahren und eine Vielzahl weiterer nützlicher Informationen.

Albemarle bietet seinen Kunden rund um die Uhr Unterstützung durch unser Notfallschutzprogramm. Wenn es zu einem Vorfall kommt, unterstützt unser Koordinator für Notfallschutz mit wichtigen Produktinformationen, mobilisiert die zuständigen internen Spezialisten und koordiniert die Zusammenarbeit mit externen Einsatzkräfte, um eine zeitnahe, fundierte und effektive Reaktion sicherzustellen.

A photo of chemical storage containers at Albemarle in Pasadena Texas

Sicherheit beim Versand

Albemarle liefert Organometalle entweder unverdünnt (rein) oder mit Kohlenwasserstoffen verdünnt (gemischt). Laborzylinder sind in den Größen 0,4 Gallonen und 1 Gallone erhältlich. Für etwas größere Mengen sind 5-, 26- bis 119-Gallonen-Doppelventilzylinder und tragbare 500-Gallonen-Tanks zur Verfügung. 

Bei 26 Gallonen-Zylindern wird der Behälter zusammen mit dem Produkt verkauft. Die 119-Gallonen-Zylinder und 500-Gallonen-Transportbehälter können an Albemarle zurückgegeben werden.

Bei der Handhabung von metallorganischen Verbindungen sind die korrekte Handhabung und persönliche Schutzausrüstung unerlässlich. Bitte machen Sie sich vor der Handhabung von organometallischen Stoffen mit der Handhabung und den Sicherheitsrisiken vertraut.

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